渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。
渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣沖擊,無氣體存儲和解吸效應,無油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
由于渦輪分子泵在某些方面,要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現(xiàn)得更優(yōu)越。故在一般情況下,多選用渦輪分子泵。它的優(yōu)點有:
(1)清潔,無油蒸汽返流(2)氣體輸送能力強(3)使用方便(4)循環(huán)的時間短(5)高壓力下性能良好(6)適于超高真空應用(7)正常使用時間長
渦輪分子泵也有一些缺點
(1) 設備費用高 (2)有一定的噪音與振動(3) 對顆粒物或沉積物比較敏感 (4) 暴露大氣易引起事故
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